廣傳光引發(fā)劑 | 光刻膠在平板顯示領(lǐng)域的應(yīng)用
發(fā)布時間:2022-04-27
光刻膠是微電子技術(shù)中微細圖形加工的關(guān)鍵材料之一,廣泛應(yīng)用于平板顯示行業(yè)、PCB行業(yè)和半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)。
在平板顯示行業(yè):主要使用的光刻膠有彩色及黑色光刻膠、LCD觸摸屏用光刻膠、TFT-LCD正性光刻膠等。在光刻和蝕刻生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,光刻膠涂覆于晶體薄膜表面,經(jīng)曝光、顯影和蝕刻等工序?qū)⒐庹郑ㄑ谀ぐ妫┥系膱D形轉(zhuǎn)移到薄膜上,形成與掩膜版對應(yīng)的幾何圖形。可用于此領(lǐng)域的光引發(fā)劑有GC-6223、TPS、LCV、NPG。
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