廣傳光引發(fā)劑 | 光刻膠分類
發(fā)布時(shí)間：2022-08-16
光刻膠按光刻工藝，可分為正膠和負(fù)膠；按曝光波長(zhǎng)可分為紫外光刻膠、深紫外光刻膠、電子束光刻膠、X射線光刻膠、離子束光刻膠等。
紫外光刻膠是指感光波長(zhǎng)為300~450nm的近紫外光刻膠。而感光波長(zhǎng)為100~300nm的光刻膠稱為深紫外光刻膠。紫外光刻膠又分紫外負(fù)型光刻膠和紫外正型光刻膠。
紫外負(fù)型光刻膠指經(jīng)紫外光(300~450nm)照射后，曝光區(qū)分子間發(fā)生光交聯(lián)形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)或光聚合使分子量變大，顯影時(shí)，在顯影液中溶解性變差，而未曝光區(qū)則容易在顯影液中溶解，經(jīng)顯影后所得光刻膠圖像與掩膜版圖像相反。
紫外正型光刻膠是指經(jīng)紫外光通過(guò)掩膜照射后，曝光區(qū)膠膜發(fā)生光分解或降解反應(yīng)，溶解性能發(fā)生變化，溶于顯影液，未曝光區(qū)膠膜則保留而形成正型圖像的光刻膠。
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