廣傳光引發(fā)劑 | 化學(xué)放大型光刻膠是什么？
發(fā)布時間：2022-10-13
化學(xué)放大膠是一種為了提高光刻膠的量子效率（量子效率，描述光刻膠對光子的敏感程度），基于化學(xué)放大原理的光刻膠，其主要成分是聚合物樹脂、光致產(chǎn)酸劑（photo acid generator，PAG）以及相應(yīng)的添加劑和溶劑。
所有化學(xué)放大膠的基本工作原理可用圖1描述。光子被光致產(chǎn)酸劑吸收，PAG分解釋放酸（H+）；烘烤時，酸與樹脂上的不溶性懸掛基團(tuán)反應(yīng)，使聚合物能溶于顯影液，并釋放一個新的H+。
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圖1 化學(xué)放大膠的一般工作原理(INSOL：不溶性基團(tuán)； SOL：可溶性基團(tuán))
之所以稱為“化學(xué)放大膠”，是因為一個光致產(chǎn)酸劑分子分解后產(chǎn)生的酸分子，能夠引發(fā)一系列化學(xué)反應(yīng)，這些化學(xué)反應(yīng)又能增強(qiáng)光刻膠曝光前后溶解能力的差異。
光刻膠是目前國家正在大力攻克的技術(shù)難題之一，因為我們在這一方面被“卡脖子”卡得太久。而如果要制備光刻膠的話，其中核心材料光引發(fā)劑的選擇可就要非常有講究了~
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