廣傳光引發(fā)劑 | 光刻膠根據(jù)紫外光的特性分為哪幾種類型？
發(fā)布時間：2021-06-17
光刻開始于一種稱作光刻膠的感光性液體的應(yīng)用。根據(jù)紫外光的特性可以分為兩類：負性光刻膠和正性光刻膠。
負性光刻膠曝光區(qū)域發(fā)生交聯(lián)，難溶于顯影液，負性光刻膠具有良好的粘附能力、良好的阻擋作用、感光速度快；顯影時發(fā)生變形和膨脹。所以只能用于2μm在的分辨率。正性復(fù)刻膠的曝光區(qū)域更加容易溶解于顯影液，具有分辨率高、臺階覆蓋好、對比度好；粘附性差、抗刻蝕能力差、成本高。
根據(jù)光刻膠能形成圖形的最小光刻尺寸來分：傳統(tǒng)光刻膠和化學(xué)放大光刻膠。傳統(tǒng)光刻膠使用于I線（365nm）、H線（405nm）和G線（436nm）,關(guān)鍵尺寸在下從μm及其以上?；瘜W(xué)放大光刻膠適用于深紫外線（DUV）波長的光刻膠。
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