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廣傳光引發(fā)劑 | 光刻膠基于感光樹脂的化學(xué)結(jié)構(gòu)可分為哪些類型?
發(fā)布時間:2021-06-18

光刻膠的技術(shù)復(fù)雜,品種較多。根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機理和顯影原理,光刻膠可分負性膠和正性膠兩類?;诟泄鈽渲幕瘜W(xué)結(jié)構(gòu),光刻膠可以分為光聚合型、光分解型、光交聯(lián)型三種類型。采用烯類單體,在光作用下生成自由基,自由基再進一步引發(fā)單體聚合,最后生成聚合物,具有形成正像的特點的為光聚合型。采用含有疊氮醌類化合物的材料,經(jīng)光照后,會發(fā)生光分解反應(yīng),由油溶性變?yōu)樗苄?,可以制成正性膠的為光分解型。采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開,并使鏈與鏈之間發(fā)生交聯(lián),形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),而起到抗蝕作用,這是一種典型的負性光刻膠的稱為光交聯(lián)型。


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